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钨沉积用的气体是🧴六氟化钨郑丽文答凤凰记者问,容易残留氟原子,☑会腐蚀芯片的介电🇵🇫😮层,导致漏电、失🦴🇦🇱郑丽文答凤凰记者问。
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